可替代EUV光刻機(jī) 工藝直逼1.4nm 日本開(kāi)發(fā)全新納米壓印技術(shù)
12月18日消息，可替雖然在EUV光刻機(jī)上已經(jīng)出局，光刻但日本依然是機(jī)工全球第二大光刻機(jī)供應(yīng)商，這幾年日本公司也在憋足勁開(kāi)發(fā)可替代EUV的藝直印技光刻方案，他們選擇了NIL納米壓印技術(shù)路線。逼n本開(kāi)
此前日本佳能、發(fā)全尼康等公司有過(guò)這種技術(shù)展示，新納現(xiàn)在日本DNP公司（大日本印刷株式會(huì)社）也宣布開(kāi)發(fā)出了10nm的米壓NIL納米壓印技術(shù)，可以將電路圖直接印在基板上，可替該技術(shù)可以用于1.4nm工藝的光刻邏輯芯片曝光。
具體技術(shù)上，機(jī)工DNP的藝直印技10nm納米壓印技術(shù)采用SADP自對(duì)準(zhǔn)雙重圖案技術(shù)，一次曝光+兩次圖案能夠制造成雙倍精度的逼n本開(kāi)芯片，可以滿足先進(jìn)工藝邏輯芯片的發(fā)全要求，而且功耗優(yōu)勢(shì)明顯，新納DNP公司稱其能耗只有當(dāng)前主流工藝的1/10左右。
該公司已經(jīng)研發(fā)NIL技術(shù)超過(guò)20年，目前的技術(shù)已經(jīng)可以部分替代EUV光刻，為芯片制造商提供另一種高精度工藝生產(chǎn)的選擇，現(xiàn)在已經(jīng)在跟硬件供應(yīng)商合作啟動(dòng)技術(shù)評(píng)估。
DNP公司預(yù)計(jì)在完成客戶驗(yàn)證，建立量產(chǎn)和供應(yīng)體系之后，預(yù)計(jì)2027年開(kāi)始量產(chǎn)出貨。
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